フェローテックホールディングスは中国で半導体シリコンウェーハ再生サービス事業の設備投資を行うことを決議

■中国では再生ウェーハ需要は拡大基調

フェローテックホールディングス<6890>(JQS)は15日引け後、中国で半導体シリコンウェーハ再生サービス事業の設備投資を行うことを決議した。

19年8月30日に公表しているように、同社の中国子会社FTSと中華人民共和国安徽省銅陵市政府(以下、「銅陵市政府」)との共同出資で、半導体シリコンウェーハの再生サービス事業参入のための新会社、「FTASM」を、安徽省銅陵市に設立している。その後、半導体シリコンウェーハの再生サービス事業に関する精査を行ってきた結果、今回、設備投資(第一期)を行うことを決定した。

中国では300㎜ポリッシュドウェーハ市場の成長と共に、再生ウェーハ需要は拡大基調にある一方、300㎜半導体シリコンウェーハ再生事業者数は世界でも限られており、かつ米国、日本、台湾などに集中していることと、同社のこれまで培った半導体ウェーハ研磨技術や精密部品再生洗浄技術が再生ウェーハ事業に転用できること、また、半導体ウェーハ事業や精密部品再生洗浄事業の顧客と再生ウェーハ事業の顧客が重複する為、クロスセルによる既存事業とのシナジーが期待できること、さらに、再生ウェーハ事業のキー・プロセスである使用済ウェーハの被膜除去工程において、技術の確立の目途が立ったことを今回の投資決定の理由として挙げている。

■21年1月までに試作し、4月より量産開始

投資額は、76億50百万円、投資資金はFTS、銅陵市政府系ファンドによる出資金にて調達する予定。

今後の予定は、20年9月に竣工し、12月に設備搬入、据付、テストを完了したうえで、21年1月までに試作し、顧客認証開始して、4月より量産開始する。第一期のラインとして、月産65千枚の再生ウェーハ(300㎜)生産ラインの体制を構築する。その後、段階的に生産枚数を拡大し、最終的に月産200 千枚の生産体制 を構築予定。

同社の21年3月期の連結業績に与える影響は軽微としている。

また、同日、20年7月1日付で、同社の連結子会社である株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズを存続会社とし、同社の連結子会社である株式会社フェローテックを消滅会社とする吸収合併を行なうことも決議した。

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