イトーキグループのダルトン、ＳＥＭＩＣＯＮ Ｊａｐａｎ出展、環境負荷低減型洗浄技術を実機公開
- 2025/11/26 15:03
- ＩＲ企業情報
■蒸気２流体洗浄装置やオゾン水生成装置などを展示、デモ実演も実施
イトーキ＜７９７２＞（東証プライム）グループのダルトンは１１月２６日、半導体製造技術や装置、ＳＭＡＲＴアプリケーションが集結する国内最大級の展示会「ＳＥＭＩＣＯＮ Ｊａｐａｎ ２０２５」に出展すると発表した。展示会は１２月１７日から１９日まで東京ビッグサイトで開催され、同社は蒸気２流体洗浄装置やオゾン水生成装置などの実機を展示し、デモンストレーションや操作事例紹介を実施する。薬液レス処理など環境負荷低減を実現する技術を来場者が直接体験できる構成とする。
■ＦＯＵＰ洗浄装置や剥離・エッチング装置など多様なラインアップを紹介
同社は１９９０年にドラフトチャンバー製造技術を応用し半導体製造装置事業を開始して以降、剥離、洗浄、乾燥、メッキ、溶剤再生など前工程を中心に幅広いプロセスに対応してきた。今回の出展テーマは「環境負荷低減」で、蒸気２流体洗浄装置や、１分程度で濃度が立ち上がり循環方式で廃水が少ないオゾン水生成装置、純水のみでＦＯＵＰ内を洗浄できるＦＯＵＰ洗浄装置など、多様な装置を紹介する。リフトオフ・レジスト剥離装置やエッチング装置など、幅広いラインアップもグラフィックや動画で紹介する。
会期中は「次世代洗浄プロセス」をテーマとした出展社セミナーを開催し、蒸気２流体洗浄の３つのメカニズムや用途、実績を解説する。展示会では、半導体パッケージングや基板実装分野のトッププレイヤーが集まるＡＰＣＳや、設計・検証分野を議論するＡＤＩＳ、検査・計測技術に焦点を当てたＭＩＳも同時開催され、前工程技術の高度化・効率化が求められる中、同社装置の価値訴求の場となる。
同社の半導体製造装置は特注設計が可能で、研究開発向け少量生産用から量産機まで柔軟に対応している。ダルトングループは創業８０年超の老舗メーカーとして、医薬・化学・生物・食品・精密機械など幅広い分野に研究施設、教育施設、クリーン機器、粉体機械など８事業を展開し、顧客の技術力向上と生産性向上を支えてきた。今回の出展は、環境配慮型プロセスの普及が進む半導体産業に向け、同社の技術力と提案力を示す重要な機会となる。（情報提供：日本インタビュ新聞社・株式投資情報編集部）
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